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MST Technologien & Prozesse - WS 2008 | Description

• MST Technologien & Prozesse
  • 1. 2. Materialien der Mikrosystemtechnik
    • 1.1. 1. Einführung
  • 2. 3. Reinraum und Vakuumtechnik
  • 3. 4. Dünnschichttechnik
  • 4. 5. Lithographie
  • 5. 6. Schichtabtragung durch Ätzen
  • 6. 7. Oberflächenmikromechanik
  • 7. 8. Bulk - Mikromechanik
  • 8. 9. LIGA Verfahren
  • 9. 10. Aufbau und Verbindungstechnik
  • 10. 11. Kostenstruktur der Silizium- Mikromechanik